陶瓷靶材系列:AZO、GZO、ITO、IZO、ZTO、SnO2、CuAIO、SiTiO3、SrCU2O2、CuGaO2,ZnO、ZnMgO、Nb2Ox、TiO2、SiO2、CdS、ZnS、MgF2。
合金靶材系列:铝合金:AICu、AITi。铜合金:CuGa、CuIn、CuInGa、CuInGaSe、CuZn。镍合金:NiCr、NiV、NICu。锌合金:ZnSn、ZnAI。其他合金:NCVM、SiAI、InSn、Mo-alloy、Ag-alloy、Ti-alloy、Cr-alloy。
金属靶材系列:平面式:Si、Se、AI、Cr、Mo、Ti、Nb、Zn、SS、Sn、Ta、Ni、In、Ag、Au |