美国AJA ATC-B 系列批量磁控溅射镀膜系统

 AJA国际公司ATC-B系列批量镀膜机是专为处理小批量基片定制改造的溅射系统。最终的系统配置取决于用户实际需求。对于向上或向下溅射，通常会配置立式气缸室。卧式或矩形，内嵌是气缸室则应用于卧式溅射系统。通常侧溅射需要更长的工艺时间，由于材料形成没有机会落到基片上或落到磁控溅射源里，因此需要中断工艺。

为了优化这些系统，AJA的工程师们能够设计出标准和定制化溅射源盒基片支架来满足应用的特殊需求。例如一款ATC-B卧式气缸就配置了特殊的磁控溅射源，它能够持续4天工艺流程正常运行。

重庆眺望科技-美国AJA中国区总代理