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美国AJA ATC-E 系列电子束蒸发镀膜系统

发布时间:2015-08-31 15:44:56

 AJA致力于研发生产薄膜沉积系统,包括磁控溅射系统,电子束蒸发系统,热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌,开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界,AJA国际公司不断突破自己,发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿,从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

AJA国际公司的蒸发镀膜系统有三种不同的型号:ATC-E, ATC ORION-E (比ATC和ATC Orion 更高的型号)和PVDX(一种穿墙箱镀膜装置)。

这些设备都能在有限的预算下实现性能和质量的最优化。这些设备沿用了许多ATC & ATC ORION 溅射设备的设计特点和通用部件,且都适用于HV高真空和UHV超高真空,还能配置单槽或多槽,直线和旋转电子束蒸发源,热蒸发源,离子/等离子体蒸发源,克努森蒸发池(分子束外延系统),有机材料低温蒸发池,Radak 蒸发源,磁控溅射源。此外,这些系统还能配置预真空室,QCM石英晶体微天平监控和控制,加热或冷却的基片支架,行星齿轮,不同的泵组和自动控制装置。

 

美国AJA公司中国区总代理--重庆眺望科技有限公司

 

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