高纯化合物靶材

氧化物靶材（ZnO、Al2O3等）

氟化物靶材（LaF3、BaF2等）

硫化物靶材（CdS，ZnS等）

硼化物靶材（LaB6、ZrB2等）

碳化物靶材（TiC、ZrC）

氮化物靶材（TiN等）

混合物靶材（AZO、IZO、ITO等）

其它合金靶材（Ag-Cu、Ti-Al、Si-Al等）

太阳能用靶材（CIGS、CdS、TeS等）