解析靶材中毒的原因

在实际的使用过程中，ITO靶材，氧化铌靶材，以及其他一些靶材的应用，使用一段时间之后，都会出现一些不规则好的斑点，亦或者是有打火情况出现，这些就是一种靶材的中毒症状。

靶材出现中毒主要是因为介质合成速度大于溅射速度而造成的导体靶材丧失导电能力。在实际的使用过程中，只有有效提高击穿电压的强度，才能够正常的进行运转。但是，电压过高，是很容易发生弧光放电的。这些都是对设备的正常运转，有着非常大的影响的。

磁铁的磁场不均匀，也是导致靶材中毒的原因之一。其主要症状就是，极易形成刻蚀跑道现象。不过，在实际的应用中，只需要有效的改善磁场的均匀性，就能够很好的解决这样的问题。

设备出现打火的情况，亦是靶材中毒的表现之一。这样的故障，主要是因为功率密度太低，过量的群体不能够及时的蒸发出去而造成的，这样会严重的导致电性能下降的情况。轻者无法起辉光，重者报废电源，这些都是极为严重的。

靶材出现中毒的情况，是极为的常见的。如果不能够及时进行处理的话，对设备的正常使用，是有着非常大的阻碍的。