姚力军:让国产靶材“溅射”全球

记者：通俗地说，什么是“溅射靶材”？

姚力军：溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面。

被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材，主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等领域。比如，第二代身份证的芯片、iphone液晶显示屏所使用的材料，就是我们的超高纯度金属材料及溅射靶材产品，在我们的生活里，它们无处不在。

记者：公司未来几年的发展目标是什么？

姚力军：我想用两年左右的时间让江丰电子成为优质的A股上市公司，借资本市场之力破浪前行。目前公司只有1%至2%的市场份额，未来，我希望能在世界半导体材料中占据35%左右的份额，让世界一流的半导体企业用上中国生产的原料；决定公司胜负的一定是人才。未来三年内，我将争取让员工工资翻番，并网罗世界最优秀的人才，共建、共享公司的荣誉与福利。

记者：您认为目前最能体现江丰电子技术实力的项目是什么？

姚力军：目前，我们承担的国家“45－28纳米工艺用半导体系列溅射靶材开发与产业化项目”，可以比肩探月工程。该项目主要研究开发和完善超高纯靶材原材料提纯技术和品质控制技术，为“极大规模集成电路制造装备和成套工艺”的顺利实施提供强有力的材料支撑。这一项目也是余姚迄今为止获得国家科技经费支持金额最大的国家科技项目。