溅射靶材的靶料厚度对镀膜有什么影响

靶材在PVD系统中作为阴极，真空系统所产生的自由电子在电场的加速作用下，撞击Ar分子而形成Ar+阳离子，而Ar+阳离子在电场的作用高速撞击靶材(阴极)，使得靶材表面的原子或原子团并以气态的形式撞出，再沉积到同在真空腔体内的基板上，形成所需的涂层或纳米薄膜。

由于它是被攻击之靶体，故简称靶材。壁厚，磁场稍弱放电电压要高些，但是几个毫米的差别不大。
氩气是工作气体不参与反应，镀出来是金属本色，就是银色。加氮气镀出来是仿金色。

磁控溅射它的靶材不是个厚片（5~6mm）吗？如果就是一般用的磁控溅射靶材，应该是没有影响，只要保证在溅射过程中不露底就成。当然什么时候露底取决于你的溅射速率。