很多人都只知道靶材的应用范围非常的广泛。但是却很少有人知道,靶材到底是什么?也很难以将靶材和ITO靶材具体区分出来。那么,这两者之间,又有何区别存在呢?
在日常的生活中间,很多人都有这样的一个习惯。那就是,在碰到问题,而自己又不知道答案的时候,就会百度一下。当他们在查询“什么是靶材”的时候,在百度上,我们能够看到这样的定义:
“在溅射沉积技术中用做阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积”。
但是,按照通俗的话语来讲,就是一种简单的镀膜材料。虽然是在磁控溅射制程中产生,但是,还是有着很多的讲究存在。
而ITO靶材,主要是三氧化二铟和二氧化锡的一种混合物。从本质上面来讲,ITO靶材,和靶材之间,还是有一定的差异存在的。
不过,不论是针对于哪一种靶材而言,在实际的应用中间,都有着非常广泛的应用。 |