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五氧化二钽

发布时间:2013-08-22 11:17:25

五氧化二钽
化学符号:Ta2O5 
外    观:无色
分 子 量:441.89 
密    度:8.74g/cm3
熔    点:1800℃                                                       
线膨胀系数:16.4×10-7/℃(30-630℃)
折 射 率(波长/nm):2.1(550) 
透明波段(nm):350-10000
在10-4Torr的蒸发温度:1920℃ 
坩    埚:W
线    圈:Ta:W 
相对介电常数:25
损耗因数:0.01 
频    率/kHz:1.0
击穿电压/V•cm-1:6×106 
沉积技术:阳极氧化
薄膜的机械和化学性质:稍微分解10-3TorrO2内蒸发
应    用:滤光片、绝缘膜、高反膜
Ta2O5分析报告:
Si Fe Mn Mo Cr Ni
13ppm 5ppm 5ppm <5ppm 3ppm 3ppm
Al Nb Cu Ti  
<5ppm 10ppm 3ppm <10ppm  


 

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